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真空泵技術日新月異的發展，原有的真空設備及真空工藝系統已經達不到新的節能、高效與環保排放的要求，特別是工藝溶劑的回收要求。

與水環式真空泵比較

1. 極限真空為3300Pa，無油真空泵真空度更高，達到1Pa，很多水環羅茨機組可以只用一臺螺桿真空泵代替。

2. 水作為密封材料，有一定的消耗量。我國北方大部分地區自來水中鈣、鎂離子(通常以碳酸氫鈣/鎂和碳酸鈣/鎂的形勢存在，一般稱為暫時硬度和永久硬度)含量比較高，真空泵容易結水垢。 干式螺桿真空泵形成真空不需要用水。

3. 連續工作溫升較高，當真空泵溫度升高時真空度會相應下降，為了解決溫升的問題，系統中需要加裝冷凍機組給循環水降溫，這首先帶來設備成本的增加和功耗的增加，干式螺桿真空泵真空度穩定不受外界條件影響。

與油式機械泵(旋片泵、滑閥泵)比較

1.旋片及滑閥泵極限真空高，一般能達到在0.1Pa,如果工藝極限真空要求較高，可以用干式螺桿真空泵串聯一級羅茨泵達到此真空。

2.油式機械泵不能抽含有水汽大及有腐蝕性的介質，否則油容易乳化變質影響真空及壽命。

3.油式機械泵不能抽含粉塵介質，否則會造成泵磨損。由于機械泵屬于有摩擦運行，及時抽吸干凈氣體介質，在運行多年后，各方面配合間隙加大，極限真空會有下降。

4.油式泵的噪音，油煙的排放，真空油的消耗越來不符合環保節能要求。